ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಶುದ್ಧ ಸಿಲಿಕಾನ್ (Si) ನಿಂದ ಮಾಡಲಾಗಿದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 6-ಇಂಚಿನ, 8-ಇಂಚಿನ ಮತ್ತು 12-ಇಂಚಿನ ವಿಶೇಷಣಗಳಾಗಿ ವಿಂಗಡಿಸಲಾಗಿದೆ, ಈ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಆಧರಿಸಿ ವೇಫರ್ ಅನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಫಟಿಕ ಎಳೆಯುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಸ್ಲೈಸಿಂಗ್‌ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಮೂಲಕ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಅರೆವಾಹಕಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಿದ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬಿಲ್ಲೆಗಳನ್ನು ವೇಫರ್ಸ್ ಬೆಕಾ ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ.ಅವುಗಳನ್ನು ದುಂಡಗಿನ ಆಕಾರದಲ್ಲಿ ಬಳಸಿ. ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳೊಂದಿಗೆ ಉತ್ಪನ್ನಗಳಾಗಲು ಸಿಲಿಕಾನ್ ವೇಫರ್‌ಗಳಲ್ಲಿ ವಿವಿಧ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಅಂಶ ರಚನೆಗಳನ್ನು ಸಂಸ್ಕರಿಸಬಹುದು. ಕ್ರಿಯಾತ್ಮಕ ಇಂಟಿಗ್ರೇಟೆಡ್ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ಉತ್ಪನ್ನಗಳು. ವೇಫರ್‌ಗಳು ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳ ಸರಣಿಯ ಮೂಲಕ ಅತ್ಯಂತ ಸಣ್ಣ ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್ ರಚನೆಗಳನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ನಂತರ ಅವುಗಳನ್ನು ಕತ್ತರಿಸಿ, ಪ್ಯಾಕ್ ಮಾಡಿ ಮತ್ತು ಚಿಪ್‌ಗಳಾಗಿ ಪರೀಕ್ಷಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದನ್ನು ವಿವಿಧ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ವೇಫರ್ ವಸ್ತುಗಳು 60 ವರ್ಷಗಳ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಕಾಸ ಮತ್ತು ಕೈಗಾರಿಕಾ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯನ್ನು ಅನುಭವಿಸಿವೆ, ಇದು ಸಿಲಿಕಾನ್‌ನಿಂದ ಪ್ರಾಬಲ್ಯ ಹೊಂದಿರುವ ಮತ್ತು ಹೊಸ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಪೂರಕವಾಗಿರುವ ಕೈಗಾರಿಕಾ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತದೆ.
ಪ್ರಪಂಚದ 80% ಮೊಬೈಲ್ ಫೋನ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಕಂಪ್ಯೂಟರ್‌ಗಳು ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ಉತ್ಪಾದಿಸಲ್ಪಡುತ್ತವೆ. ಚೀನಾ ತನ್ನ ಉನ್ನತ-ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಚಿಪ್‌ಗಳಲ್ಲಿ 95% ರಷ್ಟು ಆಮದುಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಚೀನಾವು ಚಿಪ್‌ಗಳನ್ನು ಆಮದು ಮಾಡಿಕೊಳ್ಳಲು ಪ್ರತಿ ವರ್ಷ US$220 ಶತಕೋಟಿ ಖರ್ಚು ಮಾಡುತ್ತದೆ, ಇದು ಚೀನಾದ ವಾರ್ಷಿಕ ತೈಲ ಆಮದುಗಳ ದುಪ್ಪಟ್ಟು. ಫೋಟೊಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಚಿಪ್ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ಸಂಬಂಧಿಸಿದ ಎಲ್ಲಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ವಸ್ತುಗಳನ್ನು ಸಹ ನಿರ್ಬಂಧಿಸಲಾಗಿದೆ, ಉದಾಹರಣೆಗೆ ಬಿಲ್ಲೆಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಲೋಹಗಳು, ಎಚ್ಚಣೆ ಯಂತ್ರಗಳು, ಇತ್ಯಾದಿ.
ಇಂದು ನಾವು ವೇಫರ್ ಯಂತ್ರಗಳ UV ಬೆಳಕಿನ ಅಳಿಸುವಿಕೆಯ ತತ್ವದ ಬಗ್ಗೆ ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತವಾಗಿ ಮಾತನಾಡುತ್ತೇವೆ. ಡೇಟಾವನ್ನು ಬರೆಯುವಾಗ, ಕೆಳಗಿನ ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ ಗೇಟ್‌ಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೋಲ್ಟೇಜ್ VPP ಅನ್ನು ಅನ್ವಯಿಸುವ ಮೂಲಕ ತೇಲುವ ಗೇಟ್‌ಗೆ ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಇಂಜೆಕ್ಟ್ ಮಾಡುವುದು ಅವಶ್ಯಕ. ಚುಚ್ಚುಮದ್ದಿನ ಚಾರ್ಜ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ನ ಶಕ್ತಿಯ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಭೇದಿಸುವುದಕ್ಕೆ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿಲ್ಲವಾದ್ದರಿಂದ, ಅದು ಯಥಾಸ್ಥಿತಿಯನ್ನು ಮಾತ್ರ ನಿರ್ವಹಿಸಬಲ್ಲದು, ಆದ್ದರಿಂದ ನಾವು ಚಾರ್ಜ್ಗೆ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಪ್ರಮಾಣದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ನೀಡಬೇಕು! ಈ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನೇರಳಾತೀತ ಬೆಳಕು ಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ.
ತೇಲುವ ಗೇಟ್ ನೇರಳಾತೀತ ವಿಕಿರಣವನ್ನು ಪಡೆದಾಗ, ತೇಲುವ ಗೇಟ್‌ನಲ್ಲಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ನೇರಳಾತೀತ ಬೆಳಕಿನ ಕ್ವಾಂಟಾದ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಪಡೆಯುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ನ ಶಕ್ತಿಯ ಗೋಡೆಯನ್ನು ಭೇದಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯೊಂದಿಗೆ ಬಿಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳಾಗುತ್ತವೆ. ಚಿತ್ರದಲ್ಲಿ ತೋರಿಸಿರುವಂತೆ, ಬಿಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಸಿಲಿಕಾನ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಭೇದಿಸುತ್ತವೆ, ತಲಾಧಾರ ಮತ್ತು ಗೇಟ್‌ಗೆ ಹರಿಯುತ್ತವೆ ಮತ್ತು ಅಳಿಸಿದ ಸ್ಥಿತಿಗೆ ಹಿಂತಿರುಗುತ್ತವೆ. ಅಳಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ನೇರಳಾತೀತ ವಿಕಿರಣವನ್ನು ಸ್ವೀಕರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮಾತ್ರ ನಿರ್ವಹಿಸಬಹುದು ಮತ್ತು ವಿದ್ಯುನ್ಮಾನವಾಗಿ ಅಳಿಸಲಾಗುವುದಿಲ್ಲ. ಬೇರೆ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಹೇಳುವುದಾದರೆ, ಬಿಟ್‌ಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು "1" ನಿಂದ "0" ಗೆ ಮತ್ತು ವಿರುದ್ಧ ದಿಕ್ಕಿನಲ್ಲಿ ಮಾತ್ರ ಬದಲಾಯಿಸಬಹುದು. ಚಿಪ್‌ನ ಸಂಪೂರ್ಣ ವಿಷಯಗಳನ್ನು ಅಳಿಸುವುದಕ್ಕಿಂತ ಬೇರೆ ಮಾರ್ಗವಿಲ್ಲ.
ಬೆಳಕಿನ ಶಕ್ತಿಯು ಬೆಳಕಿನ ತರಂಗಾಂತರಕ್ಕೆ ವಿಲೋಮ ಅನುಪಾತದಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ ಎಂದು ನಮಗೆ ತಿಳಿದಿದೆ. ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳು ಬಿಸಿ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್‌ಗಳಾಗಲು ಮತ್ತು ಆಕ್ಸೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ಭೇದಿಸುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಲು, ಕಡಿಮೆ ತರಂಗಾಂತರದೊಂದಿಗೆ ಬೆಳಕಿನ ವಿಕಿರಣ, ಅಂದರೆ ನೇರಳಾತೀತ ಕಿರಣಗಳು ತುಂಬಾ ಅಗತ್ಯವಿದೆ. ಅಳಿಸುವ ಸಮಯವು ಫೋಟಾನ್‌ಗಳ ಸಂಖ್ಯೆಯನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿರುವುದರಿಂದ, ಕಡಿಮೆ ತರಂಗಾಂತರಗಳಲ್ಲಿಯೂ ಅಳಿಸುವ ಸಮಯವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಲು ಸಾಧ್ಯವಿಲ್ಲ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ತರಂಗಾಂತರವು ಸುಮಾರು 4000A (400nm) ಇದ್ದಾಗ ಅಳಿಸುವಿಕೆ ಪ್ರಾರಂಭವಾಗುತ್ತದೆ. ಇದು ಮೂಲತಃ ಸುಮಾರು 3000A ಶುದ್ಧತ್ವವನ್ನು ತಲುಪುತ್ತದೆ. 3000A ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ, ತರಂಗಾಂತರವು ಕಡಿಮೆಯಾಗಿದ್ದರೂ ಸಹ, ಅಳಿಸುವ ಸಮಯದ ಮೇಲೆ ಅದು ಯಾವುದೇ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುವುದಿಲ್ಲ.
UV ಅಳಿಸುವಿಕೆಯ ಮಾನದಂಡವು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 253.7nm ನ ನಿಖರವಾದ ತರಂಗಾಂತರ ಮತ್ತು ≥16000 μW /cm² ತೀವ್ರತೆಯೊಂದಿಗೆ ನೇರಳಾತೀತ ಕಿರಣಗಳನ್ನು ಸ್ವೀಕರಿಸುವುದು. 30 ನಿಮಿಷಗಳಿಂದ 3 ಗಂಟೆಗಳವರೆಗೆ ಮಾನ್ಯತೆ ಸಮಯದ ಮೂಲಕ ಅಳಿಸುವ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯನ್ನು ಪೂರ್ಣಗೊಳಿಸಬಹುದು.
ಪೋಸ್ಟ್ ಸಮಯ: ಡಿಸೆಂಬರ್-22-2023